LITHOGUARD®-Filter und -Filtersysteme von Donaldson schützen Herstellungsprozesse und Miniumgebungen gegen Amine, Säuren und gasförmige organische Schadstoffe.
Chemische Filtration Die LITHOGUARD-Filter bieten umfassenden Schutz Ihrer kritischen Prozesse und Umgebungen gegen gasförmige Schadstoffe. Die Wahl des richtigen Mediums und Filtrationsfiltergehäuses stellt höchste Abscheidungseffizienz für Ihre spezifischen Anforderungen sicher.
Lithoguard-Systeme LITHOGUARD-Einzelfiltrationssysteme bieten einen breiten Luftstrombereich für Ihre kritischen Prozessanforderungen. In Kombination mit Lithoguard-Filtern steigern diese Systeme Ihre Produktion und verringern Ausfälle, verursacht durch schlechte Widerstände, beschlagene Linsen, Korrosion und CD-Abweichung.
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