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Halbleiter
LITHOGUARD®-Filter und -Filtersysteme von Donaldson schützen Herstellungsprozesse und Miniumgebungen gegen Amine, Säuren und gasförmige organische Schadstoffe.


Chemische Filtration
Die LITHOGUARD-Filter bieten umfassenden Schutz Ihrer kritischen Prozesse und Umgebungen gegen gasförmige Schadstoffe. Die Wahl des richtigen Mediums und Filtrationsfiltergehäuses stellt höchste Abscheidungseffizienz für Ihre spezifischen Anforderungen sicher.


Lithoguard-Systeme
LITHOGUARD-Einzelfiltrationssysteme bieten einen breiten Luftstrombereich für Ihre kritischen Prozessanforderungen. In Kombination mit Lithoguard-Filtern steigern diese Systeme Ihre Produktion und verringern Ausfälle, verursacht durch schlechte Widerstände, beschlagene Linsen, Korrosion und CD-Abweichung.


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