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Semi-Conducteurs

Les filtres et systèmes de filtration LITHOGUARD® Donaldson protègent à la fois les outils de procédés et les mini environnements de l’amine, de contaminants acides et organiques de la phase gazeuse.


Filtration chimique
Conçus pour la protection contre les contaminants de la phase gazeuse, les filtres LITHOGUARD® Donaldson offre une protection variée des procédés critiques et des environnements. La sélection d’un média filtrant et d’un boîtier de filtration appropriés garantit l’efficacité d’évacuation la plus élevée pour vos besoins spécifiques de contrôle de contamination.

Systèmes LITHOGUARD
Les systèmes de filtration autonome de particules/chimique Donaldson LITHOGUARD améliore à la fois le rendement et le temps de bon fonctionnement, en protégeant les procédés critiques & les surfaces (lentilles, rondelles, croisées de fils) menacés par la dégradation de la résistance, un voile des lentilles, une corrosion et une variation de DC. Disponibles dans une gamme de flux d’air, munis de filtres à contaminants moléculaires en suspension dans l’air (airborne molecular contaminant, AMC), pour répondre aux exigences concernant vos outils de procédés.



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